汇成真空-天生赢家 一触即发

工艺技术

the technology
电子束蒸发

电子枪技术可用于光学质量的电介质,高速率金属化和tco,用于要求苛刻的生产环境中的高速率沉积,借助完整的二维数字束扫描以及控制停留时间,速度和聚焦的能力,它们甚至为最敏感的材料也提供了最高的过程控制可能性。
在汇成真空工艺知识的支持下,可以定制坩埚的坩埚尺寸和数量,以满足客户的个性化需求。对于要求最高材料纯度的应用,汇成真空提供带有活动盖的特殊型号。

功能:

  hc系列枪体,具有纵向或全数字光束扫掠
  定制的源设计适用于较大的坩埚和最多60个容器
  石英和光学监控的过程控制
  使用汇成的增强型控制技术进行代码位置管理控制,可同时管理4个石英监控头
  piad具有可靠的,低维护成本的技术,可用于具有稳定的光学和环境特性的薄膜


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