high precision magnetron sputtering optical coating machine 高精密磁控溅射光学镀膜机
采用icp辅助磁控溅射的光学膜层低吸收和低应力，加工各类带通膜和截止膜，如人脸识别（face id），中远红外高透膜；磁控溅射各类金属cu，al，cr，au，ag，sus等，工艺开发改善深孔镀膜，镀膜层具有优异的台阶覆盖性能，应用于mems芯片封装。
优势：
•兼容4~12英寸的自动化基材传输系统
•工艺过程中实时基于基材直接监控
•清洁环境沉积薄膜点缺陷少
•沉积工艺稳定，薄膜具有高重复性
•快速换靶，维护保养便捷
